晶圆研磨用超声波气静压永磁同步电主轴 - 洛阳传顺机械设备有限公司
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ZCS中国传顺

晶圆研磨用超声波气k8彩票网站永磁同步电主轴

ZCS-165QD06

晶圆研磨用超声波气k8彩票网站永磁同步电主轴

一、 系统组成


本系统主要是由ZCS-165QD06永磁同步电主轴,高精度编码器,5.5KW同步驱动控制器,三级精密过滤器,空气压力保护开关组成系统。

主轴安装方式采用法兰安装方式。

主轴冷却采用水冷却方式。

砂轮安装方式详见图纸。

二、 技术特点:

●该气k8彩票网站电主轴采用纳米碳纤维材料”制作的高刚性、大承载、低耗气量、自润滑永不磨损的高精密气k8彩票网站(空气轴承)电主轴。其轴向和径向承载力高,耗气量低,自润滑功能,具有低碳绿色环保永不磨损的特点。

●超声波电主轴内置超声波机构可以自动控制转换超声波工作状态,具有提高加工效率、提高表面光洁度、延长砂轮使用寿命、不易粘砂轮等的特性。

空气电主轴具有气密封+迷宫式防水防尘结构,密封效果更佳。

●主轴中心配置有中心出水孔,冷却水从轴后端进入前端喷出。

主轴电机采用永磁同步电机,内置高精度编码器,用同步驱动控制器控制实现无级调速。

●本系统在气路进口加有压力传感器,具有过流、过载、气压低于下限等故障报警保护功能,并且具有和上位机通讯功能(RS-485)。

三、 ZCS-165QD06气k8彩票网站电主轴主要技术指标

1、 主要技术指标


   


2、 主要精度指标

、 轴头径向跳动≤ 0.1um

、 端面跳动 ≤ 0.2um

、 动平衡精度等级≤ G0.4

、 动态全速度范围内振动V ≤ 0.5mm/s

、 噪声全速度范围内 ≤ 60 dB

、 主轴外壳最高温升 ≤ 30 ℃

3、特性曲线



4、产品尺寸

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